Authors: BIJKERK F SHMAENOK L VANHONK A BASTIAENSEN R PLATONOV YY SHEVELKO AP MITROFANOV AV VOSS F DESOR R FROWEIN H NIKOLAUS B

Citation: F. Bijkerk et al., LASER-PLASMA SOURCES FOR SOFT-X-RAY PROJECTION LITHOGRAPHY, Journal de physique. III, 4(9), 1994, pp. 1669-1677