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*Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures

American Vacuum Society.; American Institute of Physics.
Published for the Society by the American Institute of Physics
Results: 1
RM008
Biblioteca del Dipartimento di Fisica - Sapienza Università di Roma
Holdings: 1991-2009;
Call number: RIVISTE J.Vac.SC.T.B
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