Authors: ter Heerdt, MLH van der Put, PJ Schoonman, J

Citation: Mlh. Ter Heerdt et al., Surface kinetics in copper CVD, CHEM VAPOR, 7(5), 2001, pp. 199-203

Authors: ter Heerdt, MLH Overdijk, JJ van der Put, PJ Schoonman, J

Citation: Mlh. Ter Heerdt et al., Modeling of the kinetics in copper chemical vapor deposition from Cu(hfac)VTMS, CHEM MATER, 11(12), 1999, pp. 3470-3475